인류를 위한 기술혁신「시노텍스 마스크」 - 시노펙스 SYNOPEX INC.

Membrane/Filter BUSINESS

Filter Biz


소재에서 시스템까지!
분리막 기술을 적용한 멤브레인 수처리
필터는 액체 또는 기체로부터 오염입자를 제거하는 다공성의 여과매체로 시노펙스는 Micro-Filtration 관련 필터를 수직계열화 하여 Filtration SYSTEM에 관련된 종합적인 Solution을 제공하고 있습니다.

반도체, LCD 생산라인용 고유량, 고성능 필터를 비롯하여 각종 수처리용 필터를 개발, 국내외에 공급하고 있으며, 신성장동력산업을 이끄는 고도 물처리 산업의 핵심 기술력을 확보하고 수입의존도가 높은 고성능필터 제품의 국산화에 앞장서고 있습니다. 나노기술을 적용한 고성능필터를 개발 및 공급하고 있는 시노펙스는 국내외 주요 반도체 및 LCD 생산라인용 수처리필터를 개발하여 공급하고 있습니다.

CMP

설명
시노펙스 CMP Cartridge Filter는 반도체 제조공정의 CMP(Chemical Mechanical Polishing)공정용으로 개발되어 Working Slurry Particles은 통과시키면서 Wafer 표면의 Defect (Scratch)를 발생시킬 수 Large Particles를 제거하도록 최적화 디자인이 된 Filter 제품 입니다. 특히 Multi-Layer의 Gradient 구조로 단계적인 입자 제거가 가능하여 Filter의 조기막힘을 줄여주어 Filter의 수명이 향상되도록 설계 되었습니다.
주요특징
  • 확대된 Slurry life 와 일정한 Slurry 공급이 가능
  • Wafer 표면 손상을 야기하는 큰 입자만 제거가능
  • 넓은 필터 표면적으로 High Flow rate 가능
  • 다층밀도(Gradient Structure) 구조
  • 품질인증서 / Validaion Guide 제공
적용분야
  • ILD Polishing slurries (Fumed silica)
  • STI Polishing Sluuies ( Ceria)

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